S系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可完全围绕实际应用，选择最适合的功能配置，确保最佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。
S系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。
S系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显著地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，拥有极高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。
载物台(常规晶圆载物台） | |
尺寸 | 6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" |
材质 | 不锈钢 |
平整度 | ≤±2.5μm |
真空区域* | 0，2"，4"，6"环形吸附** |
真空控制 | 手动控制，独立真空区域 |
真空驱动方式 | 真空泵 |
载物台电性能 | 载物台信号导通，可选择接地或接信号 |
*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。 | |
载物台移动基座 | |
X-Y轴行程范围* | 6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程 |
精度 | 1μm |
R轴粗调角度范围 | 360° |
R轴细调角度范围 | ±9° |
微调精度 | 0.0001°/deg |
Z轴细调行程范围 | 13mm |
细调精度 | 1μm |
Z轴快升行程 | 0~6mm, 可调 |
Z轴往复精度 | <1μm |
载物台快速拖出行程 | 100mm |
*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。 | |
