产品特点:
1. 简洁的结构设计,占用空间小(44cm x 28cm x 49cm)。
2. 简单的功能配置,高性价比的测试探针台系统。
3. 操作简易,适用于被测点尺寸在50μm以上或样片尺寸4”以内的测试。
4. 完整的系统配件,满足I-V/C-V测试、RF测试等测试需求。
5. 标准的产品系统,可在2周内快速交货。
产品简介
Mini系列探针台结构设计小巧紧凑,功能配置简单,为用户提供了高效的空间利用和高性价比的测试方案。
Mini系统可满足用户急迫的使用需要、标准的产品系统可在2周内交货。
Mini系列可兼容多种测试配件,用户可将Mini系列可应用于不同的分析测试中,如漏电精度低于100fA的I-V测试、分辨率为0.1pF的电容测试以及DC-67GHz的微波测试等等。
Mini系列仅包含了探针台的基础功能,用户可快速上手探针台的操作。载物台X-Y移动基座采用同轴调节结构,可快速精准地定位测试样片。
载物台360°R轴粗调,可快速地对准探针和被测点。
载物台真空吸附采用旋钮开关,相较于真空拔子开关,旋钮开启和关闭真空的过程中不会产生震动,可很好地保护探针和被测点。
探针台底座配置XX材料防震脚垫,能有效减弱从外界传导至探针台的震动,提升Mini系列的稳定性。
全内置的载物台真空管路和接地线路,让用户在无干扰的情况下更加简单高效地进行测试。
性能参数
载物台 | |
尺寸 | 4"(101.6mm) |
材质 | 不锈钢 |
平整度 | ≤±2.5μm |
真空区域 | 0,2",4",环形吸附 |
真空控制 | 手动控制,独立真空区域 |
载物台电性能 | 载物台信号导通,可选择接地或接信号 |
载物台移动基座 | |
X-Y轴行程范围 | 2"*2"(50.8mm*50.8mm) |
精度 | 10μm |
R轴粗调角度范围 | 360° |