金属溅射靶材形状尺寸大致如下：
圆片，圆台（直径<300mm，厚度>1mm）
矩形，片材，台阶片（长<600mm，宽<250mm，厚度>1mm）
管材，圆环，旋转靶材（直径<300mm，厚度>2mm）
其它按客户要求订制，可按图纸加工，大尺寸需来电来函洽谈。
材料列表：金属材料（单一元素材料）
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材料名称 |
化学符号 |
纯度 |
规格 |
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金属铝靶材 |
Al |
99.99%，99.999%，99.995% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，管型靶材，按图纸加工 |
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金属铋靶材 |
Bi |
99.999% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属硼靶材 |
B |
99.999% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属镉靶材 |
Cd |
99.999% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属铈靶材 |
Ce |
99.95% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属铬靶材 |
Cr |
99.5%,
99.9% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，管型靶材，按图纸加工 |
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金属铬靶材 |
Cr |
99.95% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，管型靶材，按图纸加工 |
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金属铜靶材 |
Cu |
99.99% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，管型靶材，按图纸加工 |
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金属铜靶材 |
Cu |
99.9999%,99.9999% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，管型靶材，按图纸加工 |
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金属镝靶材 |
Dy |
99.99% |
圆片靶， 矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属铒靶材 |
Er |
99.99% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属铕靶材 |
Eu |
99.99% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属钆靶材 |
Gd |
99.99% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属锗靶材 |
Ge |
99.999% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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贵金属金靶材 |
Au |
99.99% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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碳，石墨靶材 |
C |
99.999% |
圆片靶，矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属铪靶材 |
Hf |
99.95% |
圆片靶， 矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属钬靶材 |
Ho |
99.99% |
圆片靶， 矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属铟靶材 |
In |
99.999% |
圆片靶， 矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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贵金属铱靶材 |
Ir |
99.99% |
圆片靶， 矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
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金属铁靶材 |
Fe |
99.9% |
圆片靶， 矩形靶，圆柱靶，台阶片靶，按图纸加工 |
