本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点
☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。
☆可任意角度安装。
☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。
S48 300/HMT MFC技术指标
表1 S48 300/HMT数字流量控制器技术指标
编号 |
项目 |
S48 300/HMT |
1 |
流量规格 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min |
2 |
调节阀类型 |
电磁调节阀 |
3 |
调节阀静止状态 |
常闭 |
4 |
安装角度 |
任意 |
5 |
流量控制范围 |
2%-100%F.S. |
6 |
流量测量范围 |
0-100%F.S. |
7 |
响应时间 |
≤ 1 sec |
8 |
工作环境温度 |
5-50℃ |
9 |
精度保证温度 |
15-35℃ |
10 |
精度 |
±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) |
11 |
线性精度 |
±0.5%F.S. |
12 |
重复性 |
±0.2%F.S. |
13 |
工作压差 |
-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) |
14 |
耐压 |
3MPa(G) |
15 |
泄漏率 |
＜1×10-8Pa·m3/s(He) |
16 |
接触气体材料 |
316L，Viton® 氟橡胶，PTFE |
17 |
管路接头 |
Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ |
18 |
供电电源 |
±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA |
19 |
设定信号 |
数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，输入阻抗＞10kΩ |
20 |
流量输出信号 |
数字：RS485/RS232 模拟：0 - +5V，负载能力≤3mA |
21 |
通讯接口 |
数字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 协议从机，设备号可选范围0-15 |
22 |
重量(kg) |
0.9 |
4.2 订货规范
在订货时应指明是质量流量控制器还是质量流量计，指明S48 300/HMT产品型号，流量规格，使用气体种类，管接头种类。
例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(产品型号) 500mL/min(流量规格) N2(气体种类) Φ6(管路接头)
在贮运过程中，不要打开产品包装，注意防雨、防尘、防磕碰。
不能在极端严寒、高温、潮湿环境长时间存放。
